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潔淨管 管路配件

潔淨管,管路配件,在半導體業界製程的設備洗淨、化學研磨、蝕刻、塗布、曝光等設備中被大量採用,突顯潔淨製品優越的氣密性以及耐藥性、耐久性

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潔淨配管
​Polyolefin

  • 適用於潔淨氣體,氮氣,純水或各式藥液體等級

  • 採用具有水分阻絕特性與柔軟性之樹酯軟管

  • ​比氟素樹酯軟管更實惠

  • 依最小彎曲半徑分為

  • ​柔軟,超柔軟,最柔,三等級

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高壓潔淨配管

  • 低發塵量,良好的隔水性能

  • 優越的耐藥性,可使用在酸鹼溶液上

  • 外保護層採用PU樹酯,補強層採用合成纖維,具耐衝擊,可反覆彎曲及良好的耐磨耗

  • ​可耐壓20MPa

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​無塵室用接頭配件

  • 材質PP,SUS316/304,A6061接頭

  • 無塵室可用接頭配件

  • Clean Air、氮氣、純水、及各種藥液等的流體均適用。 完全禁油處理品。

  • ​樣式:Push one, 插芯式,2件式接頭等

 

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金屬高壓快速接頭dqc

  • 用於作動油、空壓、冷却水、藥液配管。可準確・簡單的裝卸,裝置的個體化,有益於維修保養的效率提升。

  • PUSH ONE設計,單手即可脫離

  • 緊密式的一體設計,分離時異體不滑出(即使用手甩動接頭異體依然不流出)

  • 材質:SUS304/316

  • 密封材:NBR, EPDM, 氟素橡膠

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​pfa樹酯軟管

  • 採用抗藥品優良的PFA樹酯

  • 優越的潔淨姓,藥液等液體難以附著

  • 不易老化,優良的耐候性

  • 可在臭氧的環境下使用

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FEP樹酯軟管

  • 採用抗藥性優良FEP樹酯

  • 優越的潔淨姓,藥液等物體難以附著

  • 不易老化,優越的耐候性

  • ​可在臭氧的環境下使用

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​防靜電樹酯軟管

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Low Out Gas
柔軟管​

  • 適用於要求low out gas潔淨氣體如氮氣,冷媒

  • 具有與PU相同的柔軟性

  • 材質不含活性碳,無靜電囤積現象

  • 良好的靜電去除性能表面抵抗率1100ɖ/sq以下

  • ​使用在氟素不活性異體中也能發揮優越性能

 

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